?利用透鏡的畸變效果,使掃描振鏡等的反射鏡的等速旋轉(zhuǎn)運動變換為在焦點平面上的光斑的等速直線運動。
?可以提供相對焦點平面,能垂直照射的遠心型fθ透鏡。
?可以提供YAG激光的基波(1064nm)和高次諧波(266nm,355nm,532nm),以及CO2激光(9.3?10.6μm)用fθ透鏡。
?由于fθ透鏡被設(shè)計使用于掃描式的光學(xué)系統(tǒng)中,所以不推薦使用于成像系統(tǒng)。
?請把光束掃描系統(tǒng)(掃描振鏡)安裝在fθ透鏡的入瞳位置上。光束掃描系統(tǒng)與入瞳位置不一致的情況下,將導(dǎo)致像差惡化,不能得到良好的聚光光斑。